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      第90章 這就是自動化規范化的魔力【求全訂!】

          DUV光刻機技術難點還是不少的。

          像是鏡頭制造方面,它要求的是極高的光學精度,鏡頭設計和制造過程中是絕不允許有任何微小的誤差的。

          此外就是光源和光路系統也是一個大難點。

          DUV光刻機采用的是準分子激光作為光源,這個光源系統還是比較容易搞定的。但光路系統的設置要求十分的精細,它要設置很復雜的折射光路,來達到讓光線純化的目的,為了提高分辨率,后來還要采用水浸法,即在投射透鏡和晶圓之間填入去離子水,這就對系統的穩定性和精度有了非常高的要求。

          為了造出合格的DUV光刻機,張紅衛在次元訓練空間的實驗室里做了大量的實驗,最終這才搞定了光源系統和光路系統。

          不過,現在,還有一個難題需要解決,那就是:想要在現實中造出高精密度的DUV光刻機,還需要有優質的先進制程的處理器芯片和傳感器。

          這就意味著,張紅衛要造出納米級的單片機處理器,還要編寫一個單片機操作系統。

          這同樣也是一個大難題。

          在不斷的學習和實踐中,張紅衛現在的編程技術自然是沒有太大的問題的。

          如今,最難的就是造出先進制程的納米級芯片。

          不過,張紅衛還有一次把次元空間訓練場里實驗室的成果帶回現實世界的機會。

          他決定充分利用這一次的機會。

          張紅衛就在次元訓練空間的實驗室里先自己操作生產出來一些單片機和傳感器。

          這些單片機和傳感器足以生產兩三臺的DUV光刻機。

          他將它們小心翼翼地裝進一個盒子里,然后隨身攜帶,回到現實。

          他成功了。

          這些先進制程的單片機和傳感器被他帶到了現實中來。

          張紅衛簡直欣喜若狂。