光源部件被攻克了，光刻機(jī)的其他系統(tǒng)部件，也應(yīng)該快了。

    “不行，我們也得加快速度，不能夠被其他團(tuán)隊(duì)超過(guò)。”

    “這段時(shí)間，你們和家人都說(shuō)清楚，我不會(huì)放假了，咱們團(tuán)隊(duì)必須要解決工藝問題。”

    “要檢測(cè)半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中的光學(xué)性能，就需要用到光學(xué)量測(cè)系統(tǒng)，沒想到大夏新科的團(tuán)隊(duì)居然連這個(gè)都一并搞定了，真是江山代有才人出。”

    “你們有沒有發(fā)現(xiàn)，大夏新科的這套光學(xué)量測(cè)系統(tǒng)，不僅可以用于測(cè)量制造過(guò)程中的光學(xué)參數(shù)，剛在PPT上面的焦距、曝光均勻性、聚焦深度等數(shù)值，好像比我們現(xiàn)在用的還要精密一些？”

    “很可能是那群半導(dǎo)體工業(yè)軟件開發(fā)團(tuán)隊(duì)的成果，從晶圓制造、光刻機(jī)調(diào)試、光刻模板檢測(cè)這幾個(gè)領(lǐng)域項(xiàng)目，聽說(shuō)這個(gè)團(tuán)隊(duì)都有進(jìn)駐。”

    議論之中，鄒王振教授與周潭教授兩人在會(huì)后交流了片刻。

    在得知對(duì)方愿意共同合作研發(fā)EUV光源，鄒王振教授雖然還是搖頭婉拒了招攬。

    “能夠有你們?cè)谶@條路上前行，我雖然有些失落這個(gè)成果不是我們率先得出，但我相信我們堅(jiān)持的路線也會(huì)有回報(bào)。

    這次是你們領(lǐng)先，但下一次，說(shuō)不準(zhǔn)就是我們團(tuán)隊(duì)領(lǐng)先了。”

    周潭聽到對(duì)方這話，也頷首祝福道：“既然如此，那我們下次再會(huì)，我相信不論是貴方，還是我們團(tuán)隊(duì)，最后肯定都能夠成功，穩(wěn)態(tài)微聚束技術(shù)在半導(dǎo)體光源的應(yīng)用范圍還有很多可挖掘的地方。”

    “嗯。”

    鄒王振教授在交流、握手之后，轉(zhuǎn)過(guò)身，邁步向外走去。

    他身旁的學(xué)生們，雖然還有些心思浮動(dòng)，但表情已經(jīng)比之前好許多。