但是這種光源在制造五納米以下的3納米、4納米的芯片時(shí)，就會(huì)成為一個(gè)老大難的問(wèn)題，因?yàn)槟芰坎粔蚣?，不夠精密?br/>
    當(dāng)然，現(xiàn)在臺(tái)積電和高麗韓星電子的半導(dǎo)體芯片制程都已經(jīng)變成了他們兩家公司自己設(shè)定的規(guī)格，而非真正意義上的物理規(guī)格制程，所以我估計(jì)這一天會(huì)來(lái)得比較晚，至少十年之內(nèi)不會(huì)有光源問(wèn)題。

    但這也只是比較晚，而并非徹底解決了問(wèn)題?！?br/>
    說(shuō)到這里，周瑜的話語(yǔ)頓了頓。

    “但穩(wěn)態(tài)微聚束技術(shù)避免了這個(gè)問(wèn)題。穩(wěn)態(tài)微聚束光束實(shí)現(xiàn)了一千瓦的更高輸出功率，加上它帶寬較窄，需要更少的反射鏡，因此可以產(chǎn)生更高的終端功率。

    我們現(xiàn)在正設(shè)計(jì)一個(gè)功率高于一千瓦穩(wěn)態(tài)微聚束極紫外光源，只要等咱們這邊的電子對(duì)撞試驗(yàn)場(chǎng)地和設(shè)備建成，還有一些關(guān)鍵技術(shù)成熟，或許設(shè)計(jì)的藍(lán)圖，將會(huì)很快成為現(xiàn)實(shí)中的設(shè)備。”

    聽(tīng)到周瑜的“畫(huà)餅”，鄒王振教授和他身旁的三位博士生都有些心向往之。

    而且除了畫(huà)餅之外，周瑜還帶著鄒王振教授一行人參觀了一些不算技術(shù)核心的數(shù)據(jù)和模型推導(dǎo)成果，展示了新科半導(dǎo)體光學(xué)團(tuán)隊(duì)為將穩(wěn)態(tài)微聚束技術(shù)進(jìn)行落地實(shí)踐和技術(shù)成果未來(lái)轉(zhuǎn)化，所做的努力。

    當(dāng)然，除此之外，周瑜也對(duì)鄒王振教授一行人直言：“咱們大夏聯(lián)邦的光刻機(jī)自主研發(fā)之路，還有很長(zhǎng)的路要走。

    我們和其他高校、試驗(yàn)機(jī)構(gòu)一起披荊斬棘，也只是在勉強(qiáng)開(kāi)墾一條可供行走的道路罷了?！?br/>
    周瑜一直都認(rèn)為，基于穩(wěn)態(tài)微聚束的極紫外光源技術(shù)，也只是能夠解決自主研發(fā)光刻機(jī)中最核心的光源難題，除此之外，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的革新和進(jìn)化，還需要大夏聯(lián)邦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的上下游產(chǎn)業(yè)鏈相互配合升級(jí)，才能獲得真正成功。

    聽(tīng)完周瑜的講述之后，鄒王振教授也是感慨萬(wàn)千。

    “光刻機(jī)這個(gè)設(shè)備，一直都是工業(yè)明珠中最閃亮的一顆。

    它背后的一整套納米工業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈，根本不是一所高校、一個(gè)實(shí)驗(yàn)室、一家企業(yè)能夠完成的。

    阿斯麥公司和我的團(tuán)隊(duì)也有過(guò)溝通交流，他們最頂級(jí)的一臺(tái)光刻機(jī)，其內(nèi)部就有超過(guò)10萬(wàn)個(gè)高精尖的零部件，它們來(lái)自藍(lán)星全球5000多家供應(yīng)商，并且在組裝的時(shí)候，還要保證整臺(tái)機(jī)器的所有零件都要達(dá)到納米級(jí)精度。

    貴公司的微聚束極紫外光源粒子加速器尚未建成，其他零部件的生產(chǎn)工藝也遠(yuǎn)遠(yuǎn)沒(méi)有達(dá)標(biāo)，還有咱們大夏聯(lián)邦的高精尖機(jī)床，現(xiàn)在也發(fā)展遲緩。

    的確是任重而道遠(yuǎn)啊。”