光源部件被攻克了，光刻機的其他系統部件，也應該快了。

    “不行，我們也得加快速度，不能夠被其他團隊超過。”

    “這段時間，你們和家人都說清楚，我不會放假了，咱們團隊必須要解決工藝問題。”

    “要檢測半導體芯片制造過程中的光學性能，就需要用到光學量測系統，沒想到大夏新科的團隊居然連這個都一并搞定了，真是江山代有才人出。”

    “你們有沒有發現，大夏新科的這套光學量測系統，不僅可以用于測量制造過程中的光學參數，剛在PPT上面的焦距、曝光均勻性、聚焦深度等數值，好像比我們現在用的還要精密一些？”

    “很可能是那群半導體工業軟件開發團隊的成果，從晶圓制造、光刻機調試、光刻模板檢測這幾個領域項目，聽說這個團隊都有進駐。”

    議論之中，鄒王振教授與周潭教授兩人在會后交流了片刻。

    在得知對方愿意共同合作研發EUV光源，鄒王振教授雖然還是搖頭婉拒了招攬。

    “能夠有你們在這條路上前行，我雖然有些失落這個成果不是我們率先得出，但我相信我們堅持的路線也會有回報。

    這次是你們領先，但下一次，說不準就是我們團隊領先了。”

    周潭聽到對方這話，也頷首祝福道：“既然如此，那我們下次再會，我相信不論是貴方，還是我們團隊，最后肯定都能夠成功，穩態微聚束技術在半導體光源的應用范圍還有很多可挖掘的地方。”

    “嗯。”

    鄒王振教授在交流、握手之后，轉過身，邁步向外走去。

    他身旁的學生們，雖然還有些心思浮動，但表情已經比之前好許多。