“看好這個(gè)材料表，雖然不是EUV紫極外光的光刻膠，但你們看清楚這個(gè)配方，萘基、二甲基锍三氟甲磺酸鹽、二羥基、二甲基锍三氟甲磺酸鹽、二苯基锍三氟甲磺酸鹽……

    首先我們先嘗試將phs樹脂、光致產(chǎn)酸劑、交聯(lián)劑、流平劑和溶劑混合，攪拌溶解后，經(jīng)孔徑為/μm的微孔濾膜過濾器過濾，得到光刻膠。

    純度肯定不行，現(xiàn)在又不是讓我們將純度最高的最好最優(yōu)秀的光刻膠做出來！

    現(xiàn)在我們需要的是能夠做，能夠填飽肚子！連UV光刻膠都造不出來，還想造EUV紫極外光的光刻膠？做夢！

    看到?jīng)]有，前烘的溫度為80-110℃，前烘的時(shí)間大致為40-80s；所述曝光的能量為100-400msec；所述后烘的溫度為80-110℃，后烘的時(shí)間為40-80s；所述顯影的顯影液為質(zhì)量分?jǐn)?shù)％的四甲基氫氧化銨水溶液，顯影的時(shí)間為60s。

    與夏芯國際跟我們提供的光刻膠對(duì)比，這個(gè)技術(shù)配比的光刻膠確實(shí)有一部分增益效果，交聯(lián)劑的添加量為-％，駐波效應(yīng)得到改善，特別是交聯(lián)劑的添加量為0.5％時(shí)駐波效應(yīng)改善最明顯，效果最好。

    不過這個(gè)添加劑的量必須要嚴(yán)格光控，每一毫克都不能夠出問題！

    既要保證得到圖形的成膜強(qiáng)度，又要減小交聯(lián)程度，更要減小顯影液浸泡光刻膠側(cè)面由過曝光和欠曝光帶來的差異。

    這個(gè)附圖上面的批注和說明有問題，是誰先寫上去的？”

    楊剛省在周瑜面前，是一個(gè)溫文爾雅的有識(shí)之士，技術(shù)中年人。

    但是在進(jìn)入研發(fā)狀態(tài)，帶團(tuán)隊(duì)進(jìn)行光刻膠研發(fā)的時(shí)候，就像是一個(gè)實(shí)驗(yàn)室暴君，每天不是在噴人，就是在教育人的路上，甚至還有年齡比較小的研究人員被他給訓(xùn)哭。

    “哭？男子漢大丈夫，哭起來像個(gè)娘們！你手抖得都不會(huì)加材料了！浪費(fèi)了材料，你去賠損失嗎？！

    知道錯(cuò)了，就去改！”

    “誰洗的玻璃管？！你是碩士沒畢業(yè)嗎？連個(gè)玻璃管都刷洗不干凈，是想我?guī)慊厝プx書嗎？丟我的臉！”