第401章 小會(huì)
不過這兩套技術(shù)需要的設(shè)備,他之前學(xué)習(xí)半導(dǎo)體材料工藝的時(shí)候,就有接觸過,而且在國外跑發(fā)布會(huì)的那段日子,也了解過一些相關(guān)設(shè)備的國外企業(yè)銷售情況。
但是在看到拋光工藝需求的設(shè)備之后,就有些摸不著頭腦了。
拋光項(xiàng)目的李毅風(fēng),在看到這位采購設(shè)備的主管如此作態(tài),頓時(shí)心下一緊。
這人,不會(huì)卡自己項(xiàng)目吧?
一想到現(xiàn)在公司正大力推進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進(jìn)步,將數(shù)十億資金砸進(jìn)來,李毅風(fēng)可不想落后其他項(xiàng)目組,丟失周董事長的信任。
他趕忙將自己項(xiàng)目組做好的部分工藝流程圖拿了出來,指著上面的幾個(gè)特殊環(huán)節(jié)說道:“鄭主管您也應(yīng)該知道晶圓其實(shí)并不圓,晶體也并不光滑吧?”
鄭承瀚下意識(shí)點(diǎn)了點(diǎn)頭,然后他就聽到自家公司這位博士一臉嚴(yán)肅的對(duì)自己講道:“晶圓制造流程可以大致分為晶圓前道和后道,這兩個(gè)環(huán)節(jié)。
其中前道工藝在晶圓廠中進(jìn)行,主要負(fù)責(zé)晶圓的加工制造,后道工藝在封測廠中進(jìn)行,主要負(fù)責(zé)芯片的封裝測試。
而我們項(xiàng)目組的化學(xué)機(jī)械拋光工藝,就是實(shí)現(xiàn)晶圓全局平坦化的關(guān)鍵工藝,通過化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同配合作用,實(shí)現(xiàn)晶圓表面多余材料的高效去除與全局納米級(jí)平坦化,是現(xiàn)在藍(lán)星所有高端制程半導(dǎo)體芯片的制造前道工序,也是先進(jìn)封裝等環(huán)節(jié)必需的關(guān)鍵制程工藝。
不要認(rèn)為這是一個(gè)簡單的工作,對(duì)晶圓表面實(shí)現(xiàn)平坦化的時(shí)候,我們要保證晶圓上面不能存在微米級(jí)別的高低起伏差距。
如果在晶圓制造過程中無法做到納米級(jí)的全局平坦化,這個(gè)晶圓就無法重復(fù)進(jìn)行光刻、刻蝕、薄膜和摻雜等關(guān)鍵工藝,也無法將制程節(jié)點(diǎn)縮小至納米級(jí)的先進(jìn)領(lǐng)域。
現(xiàn)在高端制程半導(dǎo)體芯片的線寬不斷細(xì)小化,制造工藝也需要進(jìn)步,拋光工藝和拋光的步驟,更是日新月異。
我們采購的這幾臺(tái)設(shè)備,現(xiàn)階段只是用作學(xué)習(xí)會(huì)和研究,等到我們研究透了,就能夠自行研發(fā)和升級(jí)。
而且您放心,我聯(lián)系了霓虹島國那邊的朋友,他們剛好會(huì)有一臺(tái)名單上的設(shè)備,會(huì)在這幾天出現(xiàn)事故問題,到時(shí)候咱們公司也能減個(gè)漏。”
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鄭承瀚頗為驚訝的看了眼這位博士。
這濃眉大眼的老實(shí)人,居然會(huì)有這種“不靠譜”的朋友?